檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "李志偉".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="微懸臂樑"
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現今薄膜機械性質分析,多著重於硬度、彈性系數和附著性質等,而薄膜在製作或是使用過程中若產生破裂,會嚴重影響薄膜性能,因此破裂韌性(fracture toughness)亦為薄膜相當重要的機械性質之一…